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电子与半导体工业超纯水成套设备

  电子工业纯水系统从纯水制备、纯水输送与分配、纯水回收三个部分组成完整的现代电子工业出水系统。

电子与半导体材料和器件制造中,需要大量几乎接近理论程度的18+兆欧-厘米超纯水。需要复杂的工艺过程和控制方案。科星水处理掌握了相关的核心技术和工程诀窍,已提供了150多套系统正服务于著名公司中。

    200-1000LPH标准18+兆欧-厘米超纯水装置,采用集成膜技术与抛光混床相结合工艺,一体化结构设计方案,广泛应用于中心实验室和中试批量生产中;客户特制型超纯水系统的最大产水量可达到200 M3/H,水质符合美国ASTM 电子一级超纯水标准。

 

单项目装置规模: 15000m³/d

 


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